德國PI Physik Instrumente 光學(xué)實(shí)驗(yàn)位移臺(tái) 線性平臺(tái) A-131.025A1

一、A-131.025A1線性平臺(tái)產(chǎn)品特點(diǎn)：

25毫米行程，30牛負(fù)載，80米/平方秒加速度，搭載音圈驅(qū)動(dòng)器。

二、A-131.025A1線性平臺(tái)產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域：

A-131.025A1線性平臺(tái)主要應(yīng)用領(lǐng)域?yàn)?/span>高速掃描，光電制造等。

三、A-131.025A1線性平臺(tái)產(chǎn)品參數(shù)：

行程參數(shù)：

主動(dòng)軸：X

行程：25毫米

精度參數(shù)：

螺距：10微弧度

偏轉(zhuǎn)角：10微弧度

直線度/平面度：0.5微米

速度，空載：1米/秒

加速度，空載：80米/平方秒

集成傳感器：增量線性編碼器

傳感器信號：正弦/余弦，1伏峰峰值，20微米信號周期

傳感器分辨率：1.2納米

雙向重復(fù)性：±0.1微米

定位精度，未校準(zhǔn)：±2.0微米

定位精度，已校準(zhǔn)：±0.25微米

負(fù)載參數(shù)：

Z向負(fù)載能力：30牛

移動(dòng)質(zhì)量：0.85千克

總質(zhì)量：3.6千克

導(dǎo)向類型：空氣軸承

驅(qū)動(dòng)參數(shù)：

驅(qū)動(dòng)特性：A-131.025A1單位

驅(qū)動(dòng)類型：無刷音圈驅(qū)動(dòng)器，無鐵芯，單相

中間電路電壓，均方根：48，標(biāo)稱值；80，值伏直流

標(biāo)稱電流，均方根：3安

峰值電流，均方根：10安

峰值力：70.4牛

標(biāo)稱力：22.3牛

力常數(shù)，均方根：6.9牛/安

電阻：2.7歐姆

電感（1000赫茲時(shí)）：1.4毫亨

互感：6.9伏·秒/米

標(biāo)稱功率：28瓦

布線：內(nèi)部，無移動(dòng)電纜

其他參數(shù)：

工作壓力：75至85磅 /平方英寸（520至585千帕）

耗氣量：<1.0 SCFM (28 SLPM)

材料：硬膜鋁，不銹鋼固定硬件

德國PI Physik Instrumente 光學(xué)實(shí)驗(yàn)位移臺(tái) 線性平臺(tái) A-131.025A1